用于：
半导体晶元光刻和高精度PCB板曝光等。以高压短弧球形汞灯作为光源，采用了柱体蝇眼透镜和高能力集光的椭球反射镜及抛物反射镜等光学镜组形成面光源，实现PG电子娱乐平台 365nm的紫外光（i线为主），光束垂直照射于半导体光刻机掩膜板进行芯片光曝光，光能利用率高，光强分布均匀。
耐腐蚀性技术指标：
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项目编号 |
好项目 |
能力让 |
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1 |
款型 |
HGUV-365-D6-400-AC |
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2 |
LED光源 |
压力短弧汞灯 |
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3 |
照明设计长宽 |
>160x160mm（可个性） |
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4 |
岗位PG电子娱乐平台 |
主PG电子娱乐平台 365nm |
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5 |
照明电器不均性 |
<3% |
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6 |
灯具挠度 |
>30 mW/cm2 @ 365nm |
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7 |
准直角（C Angle） |
<2.5° |
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8 |
倾斜角（D Angle） |
<0.3° |
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9 |
业务距 |
300-400mm |
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10 |
温度/能量反馈 |
灯室温度实时检测/光路能量实时监测 |
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11 |
灯源设定 |
光源位置可电控调节，X向：±5mm，Y向：±5mm，Z向：10mm |
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12 |
冷却塔原则 |
风冷或水冷式 |
| 产品编号 | 型号 | 打开列表 | 货期 |
|---|
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